藥液?純水用｜流量控制器
是以在微小區(qū)域進行流量控制為目的而開發(fā)的流量控制器。搭載了流量調節(jié)、瞬間流量顯示、外部輸出等多種功能。
FLC4000R系列
FLC4000R-G08
FLC4000R-G10
特點
開發(fā)搭載了流量控制所需的所有功能作為專用控制器。
接液部全部由氟樹脂制作，提高了耐藥品性。
接液部是只有空氣控制閥和超聲波流量計的簡單結構。
與馬達驅動方式相比，采用了能夠高速響應的空氣驅動方式。
FLC-US40系列
FLC-US40-G08
FLC-US40-G10
特點
流量計與控制閥一體化?？晒?jié)省空間
采用高性能步進電機
從全閉到全開0.3秒的響應性
Multi通信（搭載Modbus RTU，最大31連）
控制范圍（1:20）
過沖抑制功能
累計預測功能
簡單動作狀況確認（8色LED）
FLC4000R 規(guī)格
接液部
閥驅動方式：氣動式控制閥
接液部件質：PTFE、NEW PFA
流體：純水、藥液（電裝部記載流體）
流量精度：F。S.±1.0％ ※1
控制精度
R.D.±2.0％ ※1
小于50mL/min：±1mL
使用溫度范圍：0～50℃（通常20℃）
工作環(huán)境溫度：15～40℃濕度在80%以下（無結露）
供給壓力（一次側壓力）
A型type A:0.05～0.3MPa（G）壓差：0.05MPa（G）以上
B型type B:0.1～0.3MPa（G）差壓：0.1MPa（G）以上
響應性：3s以內
重現(xiàn)性：±0.5%
連接口徑：
電纜/管長度
帶SMB連接器的電纜：3m
控制氣管φ4×φ2：最大2m
噪音值：80dB以下
耐壓
接液部：0.5MPa（G）
控制空氣部：0.4MPa（G）
※1需要進行相當于使用藥液的流量校正
※2需要在使用溫度下進行校正
