【規(guī)格】
【本體裝置規(guī)格】
項目
規(guī)格
對象基板尺寸 長:70W×70L mm 高:保持面上 10mm以下 裝置尺寸 652W×411D×425Hmm 加熱方式 上面:熱風¿遠紅外線輻射過熱 下面:遠紅外線輻射加熱 冷卻方式 外部氣體(氮氣或空氣)導入冷卻用流量調(diào)整弁付 電源 3相 200V 50/60Hz 1.5kVA 外部氣體 0.3~0.5MPa 100升/min (MAX) 爐內(nèi)氧氣濃度 (氮氣使用時) 最低100ppm 基板托盤 平托盤 上面加熱 熱風式:約675W(約75W×3本×3列)※可以對標準管口進行偏差設定紅外線加熱器:約300W 下面加熱 紅外線加熱器:約240W 溫度精度 5℃以內(nèi) (最大基板中央 50W×50L mm范圍內(nèi)) 測定溫度 常溫~330℃ 測定點數(shù) 3點 氮氣供給機能 流量調(diào)整閥?。?00升/min 重量 約50kg
【計測機能規(guī)格】
項目
規(guī)格
計測方法 通過激光変位計有效計測下面的變位 測定范圍 X軸方向:最大70mmY軸方向:最大70mmZ軸方向:標準點0~3mm 變位計分辨能 最大0.2µm X-Y軸驅(qū)動速度 最大45mm/s(加減速度除外) 測定點 最大19點(以在任意的時間及溫度內(nèi)連續(xù)的計測指定范圍)
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