特點(diǎn)
經(jīng)過長年的實(shí)驗(yàn)，利用熱解析技術(shù)設(shè)計(jì)而成的具有良好的溫度均一性的電熱板。 考慮到要在清潔環(huán)境、真空環(huán)境中使用，電熱板材料用鋁、加熱器及周邊元件用不銹鋼制成。 電熱板的表面用硬質(zhì)氧化鋁膜處理法進(jìn)行了處理，因而具有良好的耐腐蝕性和良好的耐磨損性。
應(yīng)用
CVD熱處理 晶片加熱 電子元件加熱
外形·尺寸·規(guī)格
用于大氣中的
電熱板材料 ：A5052(鋁)表面進(jìn)行氧化鋁膜處理
加熱器外殼材料：SUS321（不銹鋼）
最高使用溫度 ：300℃
表面粗糙度 ：6.3s以內(nèi)
平面度 ：0.1mm以下
附屬溫度傳感器：K型外殼熱電偶 直徑3.2
用于真空中的圓形電熱板 （接受訂貨生產(chǎn)產(chǎn)品）
型號
商品代碼
電 壓
功 率
A尺寸
溫度均一性
重 量
HPC1107
02011510
200V
750W
180
ф160以內(nèi)
300℃時(shí) ±3℃
約3 kg
HPC1110
02011520
1KW
HPC1210
02011530
1KW
230
ф210以內(nèi)
300℃時(shí) ±3℃
約4 kg
HPC1215
02011540
1.5KW
HPC1320
02011550
2KW
330
ф310以內(nèi)
300℃時(shí) ±3℃
約6kg
HPC1330
02011560
3KW
※常溫、常濕、無負(fù)荷狀態(tài)下的值。與使用條件有較大差別。
·溫度控制使用HP控制器 HMC2112（1頻道）、HMC2212（2頻道） （P210）。
·也可以制造標(biāo)準(zhǔn)尺寸規(guī)格以外的產(chǎn)品。
經(jīng)過長年的實(shí)驗(yàn)，利用熱解析技術(shù)設(shè)計(jì)而成的具有良好的溫度均一性的電熱板。 考慮到要在清潔環(huán)境、真空環(huán)境中使用，電熱板材料用鋁、加熱器及周邊元件用不銹鋼制成。 電熱板的表面用硬質(zhì)氧化鋁膜處理法進(jìn)行了處理，因而具有良好的耐腐蝕性和良好的耐磨損性。
應(yīng)用
CVD熱處理 晶片加熱 電子元件加熱
外形·尺寸·規(guī)格
用于大氣中的
電熱板材料 ：A5052(鋁)表面進(jìn)行氧化鋁膜處理
加熱器外殼材料：SUS321（不銹鋼）
最高使用溫度 ：300℃
表面粗糙度 ：6.3s以內(nèi)
平面度 ：0.1mm以下
附屬溫度傳感器：K型外殼熱電偶 直徑3.2
用于真空中的圓形電熱板 （接受訂貨生產(chǎn)產(chǎn)品）
型號
商品代碼
電 壓
功 率
A尺寸
溫度均一性
重 量
HPC1107
02011510
200V
750W
180
ф160以內(nèi)
300℃時(shí) ±3℃
約3 kg
HPC1110
02011520
1KW
HPC1210
02011530
1KW
230
ф210以內(nèi)
300℃時(shí) ±3℃
約4 kg
HPC1215
02011540
1.5KW
HPC1320
02011550
2KW
330
ф310以內(nèi)
300℃時(shí) ±3℃
約6kg
HPC1330
02011560
3KW
※常溫、常濕、無負(fù)荷狀態(tài)下的值。與使用條件有較大差別。
·溫度控制使用HP控制器 HMC2112（1頻道）、HMC2212（2頻道） （P210）。
·也可以制造標(biāo)準(zhǔn)尺寸規(guī)格以外的產(chǎn)品。
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